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氧化镁(MgO)

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氧化镁(MgO)
氧化镁(MgO)单晶在微波波段的介电常数和损耗较小,且可以得到大尺寸的基片,所以是当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一,单晶基片广泛应用于制作磁学薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜等,也可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件。
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技术详情

成果简介

氧化镁(MgO)单晶在微波波段的介电常数和损耗较小,且可以
得到大尺寸的基片,所以是当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片
之一,单晶基片广泛应用于制作磁学薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和
高温超导薄膜等,也可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤
波器等器件。
提供大尺寸(直径2 英吋及更大)、超光滑(Ra< 0.5nm)、结
构完整的MgO 衬底基片。

应用场景

应用于制备制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件
以及磁性材料器件。

性能指标

性能参数
生长方法电弧法
晶体结构立方
晶格常数a=4.130 Å
熔点2800(℃)
纯度99.95%
密度3.58(g/cm3)
硬度5.5(mohs)
热膨胀系数11.2x10-6(/℃)
光学透过率>90%(200~1000nm)
介电常数ε= 9.65
热导率36 W/m.k @ 300° K
尺寸5x5,10x10,20x20,30x30mm ,Ø50.8 mm
厚度0.5mm,1.0mm
晶向<001>, <110>,<111>,定向精度±0.5°
边缘定向精度2°(特殊要求可达1°以内)
粗糙度≤ 5Å(5μm×5μm)

 

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