金光栅批量化生产技术

成果简介

搭建反射式曝光光路对200 mm×150 mm×25 mm 尺寸金光栅进行了重复性制备。制备的成品光栅各项指标均达标。
在线代替进口光栅进行信噪比的对比，结果显示高度一致。

技术特点/ 优势

工艺重复性和金光栅批量化生产。

性能指标

当-1 级衍射效率在910±100 nm 波段>90%；
在±1 级衍射波前PV<0.5λ@632.8nm。

应用场景

高功率激光装置。