达曼光栅与达曼波带片

成果简介

达曼光栅作为一种性价比极高的分束光栅，可实现激光能量的设计配比分束（典型等能量分束），可应用于并行激
光加工（切割/ 划片等）、结构激光三维测量、实时波前探测、相干合束等场合。此外，通过编码特殊相位，可实现编
码达曼光栅，典型实例为达曼涡旋光栅，可以将一束入射的高斯光，转换为携带不同拓扑荷的涡旋光阵列。达曼波带片
可以产生轴向的多焦点阵列，可应用于晶圆、蓝宝石等隐形多焦点切割。
我们可根据客户需求提供定制化服务，包括一维线状点阵分布、二维矩形排布、六边形排布等激光点阵、圆环达曼光栅，
以及各种拓扑荷数分布的达曼涡旋光栅等等。

技术特点/ 优势

高透光性、高衍射效率；
特殊排布、高均匀性；
适用于266 ～ 1550nm 等；
各种常规激光波长。

应用场景

并行激光加工（切割/ 划片等）；
结构激光三维测量；
并行光镊；
涡旋光阵列产生与探测；
晶圆隐形切割。

性能指标

性能参数
工作波长            266、355、405、532、633、808、1053、1064、1550nm 等
衍射效率              ～ 80%（一维典型值）, ～ 75%（二维典型值）
光栅周期（μm）          5 ～ 1000
光栅面积（mm）             <70
基片材料                    融石英、钠钙玻璃
基片尺寸（mm）
典型值25×3、10×10×1.5、15×15×1.5、20×20×3 任意尺寸可接受定制