多波长高精度激光干涉仪

成果简介

市面上的大多数激光干涉仪仅有一个工作波长，为解决重大任务中特定工作波长下的光学元件精密检测问题，我们
首次提出600-1600nm 多波长高精度激光干涉技术，解决了传统单一波长干涉测量技术不能实现宽带多波长同时检测的
问题。本成果涉及光源同轴合束、高精度宽光谱扩束及成像系统的超消色差设计、高精度光学元件的加工、镀膜和装调
等多方面技术创新。

技术优势

本技术成果支持在600-1600nm 波段内的任意波长下对口径小于等于150mm 的平面光学元件的波前误差进行精确
移相测量。

性能指标

应用场景

对工作波长在600-1600nm 波段内的镀膜（或未镀膜）光学元件的面形、波前误差等参数进行高精度测量，可测量
的元件材料包含玻璃、塑胶、陶瓷、硅片和抛光的金属等。